磨液政策背景

研磨液，指固体颗粒搅拌到水中，不被溶解且分散在液体其中，一旦混合物停止震荡时就会沉淀下来，是一种不均匀的、异质的混合物。研磨是半导体加工过程中的一项重要工艺，它主要是应用化学研磨液混配磨料的方式对半导体表面进行精密加工，这种化学研磨工艺几乎涉及到半导体制程中的各个环节，研磨液是影响半导体表面质量的重要因素。研磨液通常由表面活性剂、PH调节剂、分散剂、螯合剂等组分组成，各组发挥不同的作用，根据磨料的不同可分为：金刚石研磨液，二氧化硅研磨液，氧化铈研磨液等，其中，金刚石研磨液又可分为：单晶金刚石研磨液，多晶金刚石研磨液，爆轰纳米金刚石研磨液。