全球范围内,美国和日本等垄断厂商人才储备充足,而国内集成电路领域化学机械抛光液产业起步较晚,滞后的人才培养导致国内人才匮乏,构成新进入企业的主要壁垒之一。我国研磨液行业企业包括新阳半导体、安集科技、北京国瑞升科技股份有限公司、东莞市创力研磨科技有限公司、深圳市振鸿兴研磨科技有限公司等,竞争力和外资企业相比差距有所缩小,但仍有较大的提升空间。
上海新阳2019 年启动集成电路关键工艺材料扩产项目,布局规划了清洗液、刻蚀液、电镀液及添加剂、光刻胶、研磨液等化学品材料产能,历经 2 年多的建设、调试、试生产等环节,目前上海厂区年产能 1.9 万吨扩充目标已建设完成。其化学机械研磨液主要包括适用于浅槽隔离研磨液(STI Slurry)、金属钨研磨液(W Slurry)、金属铜研磨液(Cu Slurry), 硅氧化层研磨液(Oxide Slurry),多晶硅层研磨液(Poly Slurry)等系列产品,研磨液产品可覆盖 14nm 及以上技术节点。2022年上海新阳总营收达11.96亿元,较2020年增长约0.8亿元,其中研磨液等电子化学材料占比48.5%、电子化学材料设备占比4.5%左右,涂料品占比46.5%。